行星齿轮传动装置的分量，一般情况下正比于齿轮的分量，而齿轮的分量与其资料和热处理硬度有很大联系。例如在相同功率下，渗碳淬火齿轮的分量将是调质齿轮分量的1/3左右。所以针对行星齿轮减速机的结构特色和齿轮的载荷性质，应该广泛选用硬齿面齿轮。取得硬齿面齿轮的热处理办法许多，如外表淬火，全体淬火、渗碳淬火、渗氮等，应根据行星齿轮减速机的特色考虑选定。

　　1、外表淬火

　　常见的外表淬火办法有高频淬火（对小尺度齿轮）和火焰淬火（对大尺度齿轮）两种。外表淬火的淬硬层包含齿根底部时，其效果最好。外表淬火常用资料为碳的质量分数约0.35%~0.5%的钢材，齿面硬度可达45~55HRC。

　　2、渗碳淬火

　　渗碳淬火齿轮具有相对最大的承载才能，但有必要选用精加工工序（磨齿）来消除热处理变形，以确保精度。

　　渗碳淬火齿轮常用渗碳前碳的质量分数为0.2%~0.3%的合金钢，其齿面硬度常在58~62HRC的范围内。若低于57HRC时，齿面强度明显下降，高于62HRC时则脆性添加。轮齿心部硬度一般以310~330HBW为宜。渗碳淬火齿轮的硬度，从轮齿外表至深层应逐步下降，而有用渗碳深度规定为外表至深层应逐步下降，而有用渗碳深度规定为外表至硬度52.5HRC处的深度。

　　渗碳淬火在轮齿曲折疲劳强度方面的效果除使心部硬度有所进步外，还在于有外表的残余压应力，它可使轮齿最大拉应力区的应力减小。因而磨齿时不能磨齿根部分，滚齿时要用留磨量滚刀。

　　3、渗氮

　　选用渗氮可确保轮齿在变形最小的条件下到达很高的齿面硬度和耐磨性，热处理后可不再进行最后的精加工，进步了承载才能。这对于不易磨齿的内齿轮来说，具有特别含义。

　　4、相啮合齿轮的硬度组合

　　当大、小齿轮均为软齿面时，小齿轮的齿面硬度应高于大齿轮。而当两轮均为硬齿面且硬度较高时，则取两轮硬度相同。

　　选择好的行星齿轮减速机资料，有利于进步齿轮减速机的承载力及使用寿命。