直线电机XY平台应用于玻璃基板坐标测定机

规格

行程　：3,670×2,618mm

尺寸　：5,432×3,365.5×1,804.2mm

重复定位精度   ：±0.26μm

最高速度　：500mm/sec

真直度（水平・垂直） ：27μm