精密运动平台应用案例
直线电机+DD马达XYθ平台应用于液晶制造装置
行程：690×1, 550mm
尺寸：1,600×1,660mm
定位时间：400msec
最高速度：500mm/sec
真直度（垂直/水平）
X轴：±1.2μm、 ±1.13μm
Y轴： ±2μm、 ±0.63μm
速度稳定性：±0.1%（35mm/sec时）
采样周波数：100Hz
行程：690×1, 550mm
尺寸：1,600×1,660mm
定位时间：400msec
最高速度：500mm/sec
真直度（垂直/水平）
X轴：±1.2μm、 ±1.13μm
Y轴： ±2μm、 ±0.63μm
速度稳定性：±0.1%（35mm/sec时）
采样周波数：100Hz