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精密运动平台应用案例
直线电机+DD马达XYθ平台应用于液晶制造装置

 液晶制造装置

 

 

            行程:690×1, 550mm

            尺寸:1,600×1,660mm

         定位时间:400msec

         最高速度:500mm/sec

         真直度(垂直/水平)

         X轴:±1.2μm、 ±1.13μm 

            Y轴: ±2μm、 ±0.63μm    

            速度稳定性:±0.1%(35mm/sec时)

            采样周波数:100Hz